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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Potential Formation near Powered Electrode in Radio-frequency-driven Discharge 
著者
和文: 奥野 喜裕, H.Fujita.  
英文: Y.Okuno, H.Fujita.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 70    No. 2    pp. 642-644
出版年月 1991年7月 
出版者
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会議名称
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開催地
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