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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Observation of a Magnetized Low-Pressure RF Plasma for Thin-Film Preparation 
著者
和文: 奥野 喜裕, S.Yagura, H.Fujita.  
英文: Y.Okuno, S.Yagura, H.Fujita.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 69    No. 1    pp. 146-150
出版年月 1991年1月 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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