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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Production of Sheet Plasma with DC Magnetron Discharge Source 
著者
和文: 奥野 喜裕, H. Ishikura, H.Fujita.  
英文: Y.Okuno, H. Ishikura, H.Fujita.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Review of Scientific Instruments 
巻, 号, ページ Vol. 63    No. 1    pp. 44-47
出版年月 1992年1月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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