Modulation of Electron Velocity Distribution Function by Moving Cathode Sheath in a Low-Pressure RF Dsicharge

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Modulation of Electron Velocity Distribution Function by Moving Cathode Sheath in a Low-Pressure RF Dsicharge

著者

和文:	奥野喜裕, Y.Ohtsu, H.Fujita.
英文:	Y.Okuno, Y.Ohtsu, H.Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 31 No. 4 pp. 1194-1198

出版年月

1992年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: