Measurement of Electron Energy Distribution Function in a Low-Pressure RF Discharge Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Measurement of Electron Energy Distribution Function in a Low-Pressure RF Discharge Plasma

著者

和文:	S.Yagura, 奥野喜裕, Y.Ohtsu, H.Fujita.
英文:	S.Yagura, Y.Okuno, Y.Ohtsu, H.Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 31 No. 5A pp. 1503-1504

出版年月

1992年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: