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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Potential Structure in Silane Radio-Frequency Discharge Containing Particles 
著者
和文: 奥野 喜裕, H.Fujita, M.Shiratani, Y.Watanabe.  
英文: Y.Okuno, H.Fujita, M.Shiratani, Y.Watanabe.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Applied Physics Letters 
巻, 号, ページ Vol. 63    No. 13    pp. 1748-1750
出版年月 1993年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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