Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Measurements of Electron Energy Distribution Function in an Asymmetric Radio-Frequency Discharge Plasma 
著者
和文: 奥野 喜裕, Y.Ohtsu, C.Komatsu, H.Fujita.  
英文: Y.Okuno, Y.Ohtsu, C.Komatsu, H.Fujita.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 73    No. 4    pp. 1612-1616
出版年月 1993年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.