Numerical Studies on the Nonequilibrium Inductively Coupled Plasma with Metal Vapor Ionization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical Studies on the Nonequilibrium Inductively Coupled Plasma with Metal Vapor Ionization

著者

和文:	T.Suekane, T.Taya, 奥野喜裕, S.Kabashima.
英文:	T.Suekane, T.Taya, Y.Okuno, S.Kabashima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Trans. Plasma Science

巻, 号, ページ

Vol. 24 No. 3 pp. 1147-1154

出版年月

1996年6月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI