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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Structure of Inductively Coupled Plasma with Metal Vapor Ionization 
著者
和文: T.Murakami, 奥野 喜裕, S.Kabashima.  
英文: T.Murakami, Y.Okuno, S.Kabashima.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:IEEE Trans. Plasma Science 
巻, 号, ページ Vol. 25    No. 4    pp. 769-775
出版年月 1997年8月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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