Deposition of Co-Cr Films with Excellent c-Axis Orientation and Uniform Thickness for Rigid Disks Using Compact Sputtering Apparatus

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of Co-Cr Films with Excellent c-Axis Orientation and Uniform Thickness for Rigid Disks Using Compact Sputtering Apparatus

著者

和文:	Yoshitaka Kitamoto, Masanori Abe, Masahiko Naoe.
英文:	Yoshitaka Kitamoto, Masanori Abe, Masahiko Naoe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Transactions on Magnetics

巻, 号, ページ

Vol. 32 No. 5 pp. 4547

出版年月

1996年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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