Characteristic Analysis of Basic Mechanisms with Large Deflective Elastic Hinges for Three-Dimensional Micromechanisms

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristic Analysis of Basic Mechanisms with Large Deflective Elastic Hinges for Three-Dimensional Micromechanisms

著者

和文:	神谷大揮.
英文:	DAIKI KAMIYA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Micromachining and Microfabrication, Proc. of SPIE, Micromachined Devices and Components III

巻, 号, ページ

Vol. 3224 pp. 332

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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