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論文・著書情報


タイトル
和文:薄膜生成過程における3次元核成長に関する研究 
英文:Nucleation in Thin Film Processing. 
著者
和文: 土方邦夫, 宮崎康次, 井上剛良, 中別府修.  
英文: 土方邦夫, 宮崎康次, 井上剛良, 中別府修.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会論文集(B編) 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 63    No. 605    pp. 261-266
出版年月 1997年 
出版者
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会議名称
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開催地
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