Open air photoresist anshing by a cold plasma torch: catalytic effect of cathode material

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Open air photoresist anshing by a cold plasma torch: catalytic effect of cathode material

著者

和文:	K. Inomata, Y. Oikawa, T. Shiraishi, H. Koinuma.
英文:	K. Inomata, Y. Oikawa, T. Shiraishi, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 66 pp. 2188-2190

出版年月

1995年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: