Initial Grwoth Mode and Interface Analysis of Amorphous Silicon Deposited by Plasma CVD on Ultrasonically Vibrated Substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Initial Grwoth Mode and Interface Analysis of Amorphous Silicon Deposited by Plasma CVD on Ultrasonically Vibrated Substrate

著者

和文:	M. Kawasaki, M. Matsuse, M. Eguchi, M. Sumiya, H. Sakata, H. Koinuma.
英文:	M. Kawasaki, M. Matsuse, M. Eguchi, M. Sumiya, H. Sakata, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 2nd Int'l Conf. on Reactive Plasmas and 11th Symp. on Plasma

巻, 号, ページ

pp. 637-640

出版年月

1993年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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