Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Hydrophilic and Hydrophobic Phenomena on Silicon Substrate for MEMS 
著者
和文: Daiki Kamiya, Mikio Horie.  
英文: Daiki Kamiya, Mikio Horie.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proceeding of SPIE, Design, Characterization, and Packaging for MEMS and Microelectronics 
巻, 号, ページ Vol. 3893        pp. 441-447
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.