Hydrophilic and Hydrophobic Phenomema on Sillicon Substrate for MEMS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Hydrophilic and Hydrophobic Phenomema on Sillicon Substrate for MEMS

著者

和文:	Daiki KAMIYA, Mikio HORIE.
英文:	Daiki KAMIYA, Mikio HORIE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of SPIE ( Design, Characterization, and Packaging for MEMS and Microelectronics )

巻, 号, ページ

Vol. 3893 pp. 441～446

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: