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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Hydrophilic and Hydrophobic Phenomema on Sillicon Substrate for MEMS 
著者
和文: Daiki KAMIYA, Mikio HORIE.  
英文: Daiki KAMIYA, Mikio HORIE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proceedings of SPIE ( Design, Characterization, and Packaging for MEMS and Microelectronics ) 
巻, 号, ページ Vol. 3893        pp. 441～446
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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