Force Measurement System in Ultra-High Vacuum Chamber for Analysis of Adhesion Phenomena -Anaylysis System of Adhesion Phenomena between Surfaces-

論文・著書情報

タイトル

和文:	超高真空中の高剛性力計測システムの構築－固体間凝着現象解析システムのあり方－
英文:	Force Measurement System in Ultra-High Vacuum Chamber for Analysis of Adhesion Phenomena -Anaylysis System of Adhesion Phenomena between Surfaces-

著者

和文:	杉原憲一, 高橋邦夫, 恩澤忠男.
英文:	杉原憲一, 高橋邦夫, 恩澤忠男.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	5th symposium of Microjoining and Assembly Technology in Electronics (mate'99)

巻, 号, ページ

pp. 15-20

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: