Development of Wide-Range and High-Resolution Three-Dimensional Surface Profilometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Wide-Range and High-Resolution Three-Dimensional Surface Profilometer

著者

和文:	Kazuyuki SASAJIMA, Tadao TSUKADA.
英文:	Kazuyuki SASAJIMA, Tadao TSUKADA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of the 1st China-Japan Int. Symp. on Precision Machinery & Instrument Engineering

巻, 号, ページ

pp. 177-180

出版年月

1987年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: