An ultrasonic micro motor using a bending transducer based on PZT thin film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	An ultrasonic micro motor using a bending transducer based on PZT thin film

著者

和文:	Morita, T., Kurosawa, M., Higuchi, T..
英文:	Morita, T., Kurosawa, M., Higuchi, T..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors &Actuators, A.,(),,

巻, 号, ページ

Vol. 50 No. 1-2 pp. 75-80

出版年月

1995年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: