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論文・著書情報


タイトル
和文:ガラス基板上に低温成長させた多結晶シリコン薄膜の構造に与えるハロゲンの影響 
英文: 
著者
和文: 神谷利夫, 前田佳輝, 中畑浩一, 小丸貴史, C.M.Fortmann, 清水勇.  
英文: 神谷利夫, 前田佳輝, 中畑浩一, 小丸貴史, C.M.Fortmann, 清水勇.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本セラミックス協会学術論文誌 
英文:J. Ceram. Soc. Jpn. 
巻, 号, ページ Vol. 107        pp. 1099
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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