Control of orientation from randome to(220) or (400) orientation in polycrystalline silicon films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Control of orientation from randome to(220) or (400) orientation in polycrystalline silicon films

著者

和文:	T. Kamiya, K. Nakahata, A. Miida, C. M. Fortmann, I.Shimizu.
英文:	T. Kamiya, K. Nakahata, A. Miida, C. M. Fortmann, I.Shimizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 337 pp. 18

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: