In-situ hydrogen plasma treatment for improved transport of (400) oriented polycrystalline silicon films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ hydrogen plasma treatment for improved transport of (400) oriented polycrystalline silicon films

著者

和文:	A. Suemasu, K. Nakahata, K. Ro, T. Kamiya, C.M. Fortmann, I. Shimizu.
英文:	A. Suemasu, K. Nakahata, K. Ro, T. Kamiya, C.M. Fortmann, I. Shimizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Solar Energy Materials and Solar Cells

巻, 号, ページ

Vol. 66 pp. 313

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: