Preparation of Bismuth Silicate Films on Si Wafer by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Bismuth Silicate Films on Si Wafer by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Jong Hee Kim, Takaaki Tsurumi, Hideyuki Hirano, Toshio Kamiya, Nobuyasu Mizutani, Masaki Daimon.
英文:	Jong Hee Kim, Takaaki Tsurumi, Hideyuki Hirano, Toshio Kamiya, Nobuyasu Mizutani, Masaki Daimon.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 32 pp. 135

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: