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論文・著書情報


タイトル
和文:電子ビーム励起プラズマ援用イオンビームスパッタリング法によるDLC膜の作製 
英文: 
著者
和文: 野口賢次, 平田　敦.  
英文: 野口賢次, 平田　敦.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第13回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 82-83
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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