Fabrication of 60nm-pitch Ordered InP Pillars by EB-Lithography and Anodization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of 60nm-pitch Ordered InP Pillars by EB-Lithography and Anodization

著者

和文:	Toshiyuki Takizawa, Masafumi Nakahara, Eijiro Kikuno, Shigehisa Arai.
英文:	Toshiyuki Takizawa, Masafumi Nakahara, Eijiro Kikuno, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 7th Int. Conf. on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM'95), Sapporo

巻, 号, ページ

No. ThA2.3 pp. 628-631

出版年月

1995年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: