Characterization of MFIS and MFMIS structures using SrBi2Ta2O9 film with SrTa2O6/SiON stacked buffer layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of MFIS and MFMIS structures using SrBi₂Ta₂O₉ film with SrTa₂O₆/SiON stacked buffer layer

著者

和文:	E. Tokumitsu, G. Fujii, H. Ishiwara.
英文:	E. Tokumitsu, G. Fujii, H. Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	41st Electronic. Mater. Conf.

巻, 号, ページ

pp. O-6

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: