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論文・著書情報


タイトル
和文:CVD製膜の基礎と膜形成における計算機シミュレーション 
英文: 
著者
和文: 高橋邦夫.  
英文: KUNIO TAKAHASHI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:-マイクロ接合研究委員会・「薄膜界面形成」研究会 研究会報告- 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 1994年 
出版者
和文:-マイクロ接合研究委員会・「薄膜界面形成」研究会 研究会報告- 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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