Deposition conditions of SrTiO3 films on various substrates by CVD and their dielectric properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition conditions of SrTiO3 films on various substrates by CVD and their dielectric properties

著者

和文:	Hiroshi Funakubo, Yutaka Takeshima, Daisuke Nagano, Atsushi Saiki, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Hiroshi Funakubo, Yutaka Takeshima, Daisuke Nagano, Atsushi Saiki, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 334 pp. 71-76

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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