バイモルフ形PZTを用いた薄形ぜん動マイクロポンプ（マイクロチップポンプラージモデルの試作） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	バイモルフ形PZTを用いた薄形ぜん動マイクロポンプ（マイクロチップポンプラージモデルの試作）
英文:

著者

和文:	近藤豊, 丁向, 横田眞一.
英文:	近藤豊, 丁向, 横田眞一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第12回電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 431

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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