A flat type touch probe sensor using PZT thin film vibrator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A flat type touch probe sensor using PZT thin film vibrator

著者

和文:	T. Kanda, T. Morita, M. K. Kurosawa, T. Higuchi.
英文:	T. Kanda, T. Morita, M. K. Kurosawa, T. Higuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of Int. Conf. on Solid-state Sensors & Actuators, Transducers 99

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 1508-1511

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: