Performance of Hydrothermal PZT Film on High Intensity Operation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Performance of Hydrothermal PZT Film on High Intensity Operation

著者

和文:	M. K. Kurosawa, H. Yasui, T. Kanda, T. Higuchi.
英文:	M. K. Kurosawa, H. Yasui, T. Kanda, T. Higuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of IEEE Int. Micro Electro Mechanical Systems Conf.

巻, 号, ページ

pp. 56-61

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: