Wet chemical etching for ultra fine periodic structrures ; rectangular InP corrugations of 70nm pitch and 100nm depth

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Wet chemical etching for ultra fine periodic structrures ; rectangular InP corrugations of 70nm pitch and 100nm depth

著者

和文:	E.Inamura, Y.Miyamoto, S.Tamura, S.Takasugi, K.Furuya.
英文:	E.Inamura, Y.Miyamoto, S.Tamura, S.Takasugi, K.Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 28 No. 10 pp. 2193

出版年月

1989年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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