Fabrication of GaInAs/GaInAsP/InP Multi-Quantum-Wires and Boxes by Substrate-Potential-Controlled Electron Cyclotron Resonance Reactive Ion Beam Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of GaInAs/GaInAsP/InP Multi-Quantum-Wires and Boxes by Substrate-Potential-Controlled Electron Cyclotron Resonance Reactive Ion Beam Etching

著者

和文:	Koji Kudo, Yasuaki Nagashima, Munehisa Tamura, Shigeo Tamura, Akinori Ubukata, Shigehisa Arai.
英文:	Koji Kudo, Yasuaki Nagashima, Munehisa Tamura, Shigeo Tamura, Akinori Ubukata, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japan. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 33 No. 10A pp. L1383-L1385

出版年月

1994年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: