Surface Damage in GaInAs/GaInAsP/InP Wire Strucures Prepared by Substrate-Potential-Controlled Reactive Ion Beam Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Damage in GaInAs/GaInAsP/InP Wire Strucures Prepared by Substrate-Potential-Controlled Reactive Ion Beam Etching

著者

和文:	Munehisa Tamura, Yasuaki Nagashima, Koji Kudo, Ki-Chul Shin, Shigeo Tamura, Akinori Ubukata, Shigehisa Arai.
英文:	Munehisa Tamura, Yasuaki Nagashima, Koji Kudo, Ki-Chul Shin, Shigeo Tamura, Akinori Ubukata, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japan. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 34 No. 6A pp. 3307-3308

出版年月

1995年

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
英文: