Fabrication of 60nm Pitch Ordered InP Pillars by EB-Lithography and Anodization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of 60nm Pitch Ordered InP Pillars by EB-Lithography and Anodization

著者

和文:	Toshiyuki Takizawa, Masafumi Nakahara, Eijiro Kikuno, Shigehisa Arai.
英文:	Toshiyuki Takizawa, Masafumi Nakahara, Eijiro Kikuno, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. of Electronic Materials

巻, 号, ページ

Vol. 25 No. 4 pp. 657-660

出版年月

1996年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: