GaInAsP/InP Multiple-Reflector Micro-Cavity Structure Fabricated by EB Lithography and Selective Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	GaInAsP/InP Multiple-Reflector Micro-Cavity Structure Fabricated by EB Lithography and Selective Etching

著者

和文:	Ki-Chul Shin, Munehisa Tamura, Shinji Kurihashi, Shigeo Tamura, Masatsugu Hotta, Shigehisa Arai, Naoki Serizawa.
英文:	Ki-Chul Shin, Munehisa Tamura, Shinji Kurihashi, Shigeo Tamura, Masatsugu Hotta, Shigehisa Arai, Naoki Serizawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 7th Int. Conf.on In Pand Related Materials(IPRM'95),Th.P50,Sapporo

巻, 号, ページ

pp. 557-560

出版年月

1995年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: