Stripe Direction Dependence of Mesa Angle Formed on (100) InP by Selective Etching using HCl Solution

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stripe Direction Dependence of Mesa Angle Formed on (100) InP by Selective Etching using HCl Solution

著者

和文:	Munehisa Tamura, Ki-Chul Shin, Naoki Serizawa, Shigehisa Arai.
英文:	Munehisa Tamura, Ki-Chul Shin, Naoki Serizawa, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japan. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 35 No. 4A pp. 2383-2384

出版年月

1996年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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