Fabrication of GaInAsP/InP Multiple-Quantum Wire Structures by Cl<sup>2/H</sup>2-ECR Dry Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of GaInAsP/InP Multiple-Quantum Wire Structures by Cl^2/H2-ECR Dry Etching

著者

和文:	Munehisa Tamura, Takashi Kojima, Toshikazu Ando, Shigeo Tamura, Shigehisa Arai.
英文:	Munehisa Tamura, Takashi Kojima, Toshikazu Ando, Shigeo Tamura, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Int. Symp. Formation, Physics and Device Application of Quantum Dot Structures (QDS'96), Th2-10, Sapporo

巻, 号, ページ

pp. 192

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: