Estimation of Sidewall Nonradiative Recombination in GaInAsP/InP Wire Structures Fabricated by Low Energy Electron-Cyclotron-Resonance Reactive-Ion-Beam-Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Estimation of Sidewall Nonradiative Recombination in GaInAsP/InP Wire Structures Fabricated by Low Energy Electron-Cyclotron-Resonance Reactive-Ion-Beam-Etching

著者

和文:	Munehisa Tamura, Toshikazu Ando, Nobuhiro Nunoya, Shigeo Tamura, Shigehisa Arai, Gerd U. Bacher.
英文:	Munehisa Tamura, Toshikazu Ando, Nobuhiro Nunoya, Shigeo Tamura, Shigehisa Arai, Gerd U. Bacher.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japan. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 37 No. 6A pp. 3576-3584

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: