Surface damage in GaInAsP/InP wire structures by Cl┣D22┫D2/H┣D22┫D2-ECR dry etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface damage in GaInAsP/InP wire structures by Cl┣D22┫D2/H┣D22┫D2-ECR dry etching

著者

和文:	Munehisa Tamura, Toshikazu Ando, Nobuhiro Nunoya, Shigeo Tamura, Shigehisa Arai, Gerd U. Bacher.
英文:	Munehisa Tamura, Toshikazu Ando, Nobuhiro Nunoya, Shigeo Tamura, Shigehisa Arai, Gerd U. Bacher.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 9th Int. Conf. on Indium Phosphide and Related Materials(IPRM'97), Hyannis(USA)

巻, 号, ページ

Vol. ThA4 pp. 582-585

出版年月

1997年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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