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論文・著書情報


タイトル
和文:集積回路の作製を目指した単分子膜レジストによる微細加工 
英文: 
著者
和文: 中川勝, 市村國宏.  
英文: 中川勝, 市村國宏.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:新しい半導体プロセスと材料, シーエムシー 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 92
出版年月 2000年 
出版者
和文:新しい半導体プロセスと材料, シーエムシー 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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