Relationship between YSZ Thicness and Dislocation Densities of both YSZ and CeO2 Layers in Heteroepitaxial CeO<sub>2</sub>/YSZ/Si(001) Films Determined by X-ray Rocking Curves Fitness

論文・著書情報

タイトル

和文:	Relationship between YSZ Thicness and Dislocation Densities of both YSZ and CeO2 Layers in Heteroepitaxial CeO₂/YSZ/Si(001) Films Determined by X-ray Rocking Curves Fitness
英文:

著者

和文:	陳　軍華, 脇谷尚樹, 佐伯　淳, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	陳　軍華, 脇谷尚樹, 佐伯　淳, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミック協会第１６回関東支部研究発表会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 74-75

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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