Controlling the Residual Stress in PZT Thin Film by Introducing Differernt Buffer Layers

論文・著書情報

タイトル

和文:	Controlling the Residual Stress in PZT Thin Film by Introducing Differernt Buffer Layers
英文:

著者

和文:	Kazuo Shinozaki, Ayanori Endo, Akinori Iwasaki, Atsushi Saiki, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Kazuo Shinozaki, Ayanori Endo, Akinori Iwasaki, Atsushi Saiki, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	Extended Abstracts of The 1st Asian Meeting on Electroceramics and The 20th Electronics Division Meeting
英文:

巻, 号, ページ

pp. 49-49

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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