Simultaneous Determination of Activity Coefficient and Diffusion Coefficient of Boron in Single Crystalline Silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Simultaneous Determination of Activity Coefficient and Diffusion Coefficient of Boron in Single Crystalline Silicon

著者

和文:	H.Fukuyama, J.Takasago, K.Kawagishi, M.Susa, K.Nagata.
英文:	H.Fukuyama, J.Takasago, K.Kawagishi, M.Susa, K.Nagata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Electrochem. Soc.

巻, 号, ページ

Vol. 147 No. 5 pp. 1965-1969

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: