GaInAsP/InP低次元量子井戸構造のためのCH<sub>4</sub>/H<sub>2</sub>ドライエッチング/埋込み再成長 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	GaInAsP/InP低次元量子井戸構造のためのCH₄/H₂ドライエッチング/埋込み再成長
英文:

著者

和文:	中村円香, 布谷伸浩, 福士一郎, 田村茂雄, 荒井滋久.
英文:	中村円香, 布谷伸浩, 福士一郎, 田村茂雄, 荒井滋久.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第46回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

No. 28p-ZC-9 pp. 1381

出版年月

1999年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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