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論文・著書情報


タイトル
和文:CH4/H2ドライエッチングを用いた多重極微共振器半導体レーザの試作 
英文: 
著者
和文: 豊嶋俊輔, ﾓﾃｨ･ﾏﾀﾞﾝ･ﾗｼﾞｭ, 安本英雄, 荒井滋久.  
英文: 豊嶋俊輔, ﾓﾃｨ･ﾏﾀﾞﾝ･ﾗｼﾞｭ, 安本英雄, 荒井滋久.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第59回応用物理学会学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 15a-A-23    pp. 998
出版年月 1998年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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