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論文・著書情報


タイトル
和文:ECRドライエッチングによるGaInAs(P)/InP多層量子細線構造の作製 
英文: 
著者
和文: 田村宗久, 安藤俊一, 布谷伸浩, 田村茂雄, 荒井滋久, 中村円香.  
英文: 田村宗久, 安藤俊一, 布谷伸浩, 田村茂雄, 荒井滋久, 中村円香.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第58回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 4a-A-8    pp. 1292
出版年月 1997年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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