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論文・著書情報


タイトル
和文:ラングミュアプローブを用いるヘリウム誘導結合プラズマ質量分析インターフェース内プラズマ測定 
英文: 
著者
和文: 林 靖, 堀田栄喜, D.Flechtner, Cz.Golkowski, J.D.Ivers, J.A.Nation.  
英文: 林 靖, 堀田栄喜, D.Flechtner, Cz.Golkowski, J.D.Ivers, J.A.Nation.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会プラズマ研究会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. PST-00-85        pp. 23-27
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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