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論文・著書情報


タイトル
和文:パルス動作ヘリウム誘導結合プラズマの製作と測定 
英文: 
著者
和文: 薮田泰伸, 宮原秀一, 渡辺正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜.  
英文: 薮田泰伸, 宮原秀一, 渡辺正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:平成13年電気学会全国大会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 1        pp. 256
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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