Fast surface profiler by white-light interferometry using a new algorithm, the SEST algorithm

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fast surface profiler by white-light interferometry using a new algorithm, the SEST algorithm

著者

和文:	Akira Hirabayashi, Hidemitsu Ogawa, Katsuichi Kitagawa.
英文:	Akira Hirabayashi, Hidemitsu Ogawa, Katsuichi Kitagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SPIE's 46th Annual Meeting, The Int. Symposium on Optical Science and Technology, Optical Manufacturing and Testing IV, Session 7, Testing I: Profilometry, 2001.7.29-8.3, San Diego, California

巻, 号, ページ

Vol. 4451 No. 39 pp. 356-367

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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